1.1 半导体材料
硅器件在室温下有较佳的特性,且高品质的硅氧化层可由热氧化的方式生长,价格低廉,丰度仅次于氧,工艺发展最为完善。
砷化镓适用于高速和光电器件。
1.2 基本晶体结构
晶格:晶体中原子的周期性排列
Si、Ge金刚石结构(两个面心立方沿对角线),共价键、正四面体
只有钋(polonium)属于简立方结构
密度=每立方厘米中的原子数x每摩尔原子质量/阿伏伽德罗常数
密勒指数定义:
①找出晶面在直角坐标系中三个坐标轴上的截距(以晶格常数为单位)
②取三个截距值的倒数,并将其化为最小的整数比
③将此结果以“(hkl)”表示,即为这个晶面的密勒指数
1.3 共价键
一个自由电子产生的同时,会在共价键中留下一个空位,这个空位可以由邻近的一个价电子填充,从而产生空位的移动,可以把这个空位抽象成类似于电子的一种粒子,这种虚构的粒子称为空穴。
1.4 能带
Si禁带宽度1.12eV,对应波长nm
如果导带底位于p=0处,这意味着晶体中电子的有效质量在每个晶向上都是相同的,同时,这也表明电子的运动情况与晶向无关。如果导带底位于,那么晶体中电子的特性在不同晶向上是不统一的。一般来说,极性(含部分离子键特性)半导体中,导带底倾向于出现在p=0处,这与晶格结构以及价键的离子性成分所占比例有关。
间接带隙需能量Eg,动量Pc
发光管二极管和半导体激光器需要直接带隙半导体高效地产生光子。
1.5 本征载流子浓度
载流子:参与导电的电子和空穴
产生:①本征激发:电子从价带跃迁到导带,形成导带电子和价带空穴。
②杂质电离:当电子从施主能级跃迁到导带时产生导带电子,当电子从价带激发到受主能级时产生价带空穴。
当半导体的温度大于绝对零度时,就有电子从价带激发到导带中,同时,价带中产生空穴,这就是本征激发,电子、空穴成对出现。
当半导体中的杂质数量远小于由热激发产生的电子和空穴时,这种半导体称为本征半导体。
本征半导体中的电子浓度(即单位体积中的电子数),首先计算能量内的电子浓度。浓度n(E)由单位体积内允许的能态密度N(E)*电子占据此能量范围的几率F(E)的乘积得出。
,n的单位,N(E)单位
一个电子占据能量为E的能态的几率可由费米狄拉克分布函数得出:
k是玻尔兹曼常数,T是以开尔文为单位的绝对温度,费米能级是电子占据率为1/2时的能级能量。
对于本征半导体而言,导带中每单位体积的电子数与价带中每单位体积的空穴数相同;即n=p=ni,ni称为本征载流子浓度。
一定的半导体材料,其本征载流子浓度ni随温度上升而迅速增加;不同的半导体材料在同一温度下,Eg越大,ni越小。
1.6 施主与受主
空穴是由于电子缺失产生的带正电荷的“准粒子”。
有效杂质浓度是经过补偿之后,半导体中的净杂质浓度。
当半导体被掺入杂质时,半导体变成非本征的(extrinsic),而且被引入了杂质能级。
杂质原子成为晶格中的缺陷,破坏了晶格的周期性,带隙内出现了原先被禁止的能级,换句话说,杂质原子将在带隙中引入一个或多个能级。
非简并半导体:费米能级至少比Ev高3kT,或比Ec低3kT。
简并半导体:当掺杂浓度等于或高于相应的导带或价带有效态密度时,对于很高掺杂的n型或p型半导体,费米能级将高于Ec或低于Ev,这种半导体是简并半导体。高掺杂的重要特点是禁带宽度变窄效应。
完全电离情况下:电子浓度为,
同理,完全电离情况下:空穴浓度为,
以本征载流子浓度ni及本征费米能级Ei来表示电子和空穴浓度:
热平衡情况下,上式对于本征和非本征、非简并半导体都适用。
当温度上升时,费米能级接近本征能级,即半导体变得本征化。
在低温时,晶体中的热激发不足以电离所有的施主杂质,有些电子被“冻结(frozen)”在施主能级中,因此电子浓度小于施主浓度。温度上升之后,施主杂质能够完全电离(n=Nd),当温度继续上升,电子浓度在一段很宽的温度范围内保持恒定,这段区域被称为非本征区,然而,当温度继续上升至某一温度值时,本征载流子浓度将增加得与施主浓度可比。超过此温度后,半导体将本征化,本征化的温度取决于杂质浓度和禁带宽度。