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Klarf文件简介

一、什么是Klarf KLARF 是 KLA Tencor 的缺陷报告文件格式。它包含晶圆图的元素，但也包含有关每个设备内缺陷位置的数据——这是其他图文件不支持的。此外，KL...

羋学僧

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